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當前位置:首頁產品中心自營產品升級款等離子刻蝕機PC-5S13/5D13升級款等離子刻蝕機

升級款等離子刻蝕機
產品簡介:

升級款等離子刻蝕機,外觀大方簡潔,質量可靠,性能穩定,廣泛應用于納米材料學,半導體,微電子,光學,電子學,醫藥學,環境學,微流控生物學,LED,石墨烯等不同領域。
主要用于以下實驗:表面清潔、表面活化、鍵合、去膠、金屬還原、簡單刻蝕、器械的消毒、去除表面有機物、疏水實驗、鍍膜

產品型號:PC-5S13/5D13

更新時間:2025-01-05

廠商性質:生產廠家

訪 問 量 :864

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產品介紹

產品特點:

1.      5寸彩色觸摸屏操作界面,采用45°傾斜角度設計,符合人體工程學,操作簡單友好。

2.      PLC自動監測控制工藝參數,參數可存儲,手動、自動兩種模式任意切換。

3.      艙門,流量計內凹式設計,防止不小心磕碰損壞,更大氣美觀。

4.      松下高精度數字真空壓力表,實時檢測顯示艙體內真實真空度,提供論文真實數據。

5.      氣體浮子流量計或質量流量計(MFC),可對多種氣體精準控制。

6.      不銹鋼或石英真空艙體可選,艙體管路采用耐腐蝕材料。

7.      進氣端口,氣體返填端口均配有HEPA高效過濾器,有效過濾空氣中污染顆粒及水分。

8.      真空泵配有油霧過濾器,可有效隔絕油氣溢散,保護實驗環境。

9.      使用成本低,無需進行特殊維護,日常使用中保持儀器清潔即可。

10.    具備優良的安全保護措施,射頻模塊溫度異常升高時,自動關閉電源,保護樣品,提高設備安全性和穩定性。

等離子清洗機應用領域,納米材料學,半導體,微電子,光學,電子學,微流控生物學,石墨烯,再造醫學等領域

技術參數

型號

PC-5S

PC-5S13

PC-5D

PC-5D13

射頻電源

40KHZ

13.56MHZ

40KHZ

13.56MHZ

射頻電源功率

0-200W

0-150W

0-200W

0-150W

匹配器

自動匹配

自動匹配

激發方式

電容式

電容式

電容式

電容式

艙體容積

5L

5L

5L

5L

艙體尺寸

D245mm*?155mm

D245mm*?155mm

D245mm*?155mm

D245mm*?155mm

艙體材質

不銹鋼

不銹鋼

不銹鋼

不銹鋼

載物板尺寸

L245mm*W155mm

L245mm*W155mm

L245mm*W155mm

L245mm*W155mm

HEPA高效過濾器

最小過濾0.22um

最小過濾0.22um

最小過濾0.22um

最小過濾0.22um

氣體控制

浮子流量計可選質量流量計(MFC

浮子流量計可選質量流量計(MFC

浮子流量計可選質量流量計(MFC

浮子流量計可選質量流量計(MFC

氣體壓力穩定時間

60s

60s

60s

60s

工作時間設定

1-9959秒可調

1-9959秒可調

1-9959秒可調

1-9959秒可調

真空度

100par

100par

100par

100par

真空泵

抽速8m3/h

抽速8m3/h

抽速8m3/h

抽速8m3/h

電源

AC220v5060HZ

AC220v5060HZ

AC220v5060HZ

AC220v5060HZ

產品尺寸

L41*W38*H50cm

L41*W38*H50cm

L41*W38*H50cm

L41*W38*H50cm

包裝尺寸

L49*W46*H58cm

L49*W46*H58cm

L49*W46*H58cm

L49*W46*H58cm

整機凈重

18kg

32kg

18kg

32kg


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