等離子清洗機清洗分為化學清洗、物理清洗及物理化學清洗。針對不同的清洗對象可選擇O2、H2和Ar等藝氣體進行短時間的表面處理。
 

　　目前已經(jīng)廣泛應用的清洗方法主要有濕法清洗和干法清洗。濕法清洗的局限性非常大，從對環(huán)境的影響、原材料的消耗及未來的發(fā)展考慮，干法清洗要明顯優(yōu)于濕法清洗。其中發(fā)展較快和優(yōu)勢明顯的是等離子體清洗。等離子體是指電離氣體，是電子、離子、原子、分子或自由基等粒子組成的集合體 。清洗時高能電子碰撞反應氣體分子，使之離解或電離，利用產(chǎn)生的多種粒子轟擊被清洗表面或與被清洗表面發(fā)生化學反應，從而有效地清除各種污染物;還可以改善材料本身的表面性能，如提高表面的潤濕性能和改善膜的粘著力等，這在許多應用中都是非常重要的。經(jīng)等離子清洗后器件表面是干燥的，不需要再處理，可以提高整個工藝流水線的處理效率;可以使操作者遠離有害溶劑的傷害;等離子可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗，因此不需要過多考慮被清洗物件的形狀;還可以處理各種材質(zhì)，尤其適合不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。這些優(yōu)點，都使等離子體清洗得到廣泛關注。
 

　　物理化學反應同時存在的清洗：
 

　　反應中物理反應與化學反應均起重要作用的 清洗。 如采用Ar和O2的混合氣體進行在線式等離子清 洗過程時，反應速率比單獨使用Ar或O2都要快。氬 離子被加速后，產(chǎn)生的動能又能提高氧離子的反應能力，因此用物理化學方法可清除污染較為嚴重的材料表面。
 

 

 

　　物理反應為主的清洗：
 

　　利用等離子體里的離子做純物理的撞擊，把材 料表面附著的原子打掉，也稱為濺射腐蝕(SPE)。 采用氬氣進行清洗，氬離子以足夠的能量轟擊器 件表面，撞擊力足以去除任何污垢。聚合物中的 大分子化學鍵分離成小分子而汽化，通過真空泵排 出。同時經(jīng)過氬等離子清洗后，能夠改變材料表面 的微觀形態(tài)，使材料在分子級范圍內(nèi)變得更加“粗 糙”， 可大幅改善表面活性，提高表面的粘結(jié)性 能。氬等離子的優(yōu)點是清理材料表面不會留下任何 氧化物。缺點是可能發(fā)生過量腐蝕或污染物顆粒重 新積聚在其他不希望的區(qū)域，但是這些缺點可通過 細調(diào)工藝參數(shù)得到控制。
 

　　化學反應為主的清洗：
 

　　利用等離子體里的高活性自由基與材料表面的有機物等做化學反應，又稱PE。采用氧氣進行清洗，使非揮發(fā)性的有機物變成易揮發(fā)的形態(tài)，產(chǎn)生二氧化碳、一氧化碳和水?；瘜W清洗的優(yōu)點是清潔速度高、選擇性好和對清洗有機污染物比較有效， 主要缺點是生成的氧化物可能在材料表面再次形成。在引線鍵合工藝中，氧化物是不希望有的， 這些缺點可以通過適當選擇工藝參數(shù)進行避免。